法国——300mm化学机械抛光设备供货项目

一、基本信息

公告编号
272106-2026

公告类型
招标公告（标准程序）

国家
法国

项目名称
300mm化学机械抛光设备供货

合同类型
货物

二、采购方

采购单位
CEA Grenoble

邮箱
clara.gogorian@cea.fr

性质
公共机构

行业
教育/科研

三、程序信息

程序编号
5df1aa64-7582-4790-b2c3-b7fefabd1f45

内部编号
PN-B26-01497-CGo

程序类型
带公告的谈判程序

是否加速
否

四、项目内容

采购设备用于：

• FD-SOI      10nm及更先进工艺研发

设备要求包括：

• 可处理300mm晶圆

• 可抛光金属材料（铜、钨）

• 可处理阻挡材料（钽、钛）

• 可抛光透明基板

• 配备4个抛光盘和2个清洗模块

• 可同时处理2个工艺流程

• 配备先进抛光头和终点检测系统

• 支持自动调整抛光曲线

• 后续可集成在线计量模块

五、可选项

强制选项

• 延长一年质保

可选项

• 残留检测传感器

• 换热器/冷却装置

• 电力变压器

• 一级维护培训

• 高级维护培训

• 运输费用（含保险，DAP条件）

六、履约地点

城市
Grenoble

地区（NUTS）
Isère（FRK24）

国家
法国

七、项目期限

预计周期
15个月

八、资金来源

• 部分或全部来自欧盟资金

• 项目名称：FAMES      PILOTE LINE

九、参与条件

• 不限制参与

• 新成立企业可以参与（可用其他方式证明能力）

十、程序说明

• 两阶段程序

• 第二阶段邀请：

• 最少3家

• 最多3家

• 每阶段可淘汰部分投标人

• 采购方可直接基于初始报价授标（无需谈判）

十一、评标标准

• 价格不是唯一标准

• 具体评标标准见招标文件

十二、招标文件

获取地址
https://www.marchespublics.gouv.fr

十三、投标条件

提交方式
电子提交

提交地址
https://www.marchespublics.gouv.fr

语言
法语

电子目录
不允许

截止时间

申请参与截止时间
2026年5月19日 16:00

合同执行条件

• 不涉及保护性就业项目

• 不允许电子发票

• 不使用电子订单

• 不使用电子支付

十四、采购方式

• 非框架协议

• 非动态采购系统

• 无电子拍卖

十五、申诉与机构

申诉机构
格勒诺布尔行政法院

十六、组织信息

采购方

CEA Grenoble
地址：17 rue des Martyrs, Grenoble

申诉机构

Greffe Tribunal Administratif de Grenoble
地址：2 Place de Verdun, Grenoble

十七、公告信息

公告编号
272106-2026

发布日期
2026年4月21日

语言
法语